광학 통신 연구소는 이온 빔 스퍼터링 시스템을 주문하여 레이저 패싯 코팅 및 마이크로 광학 장치를 만듭니다.
현대 중공업은 Veeco의 IBS 기술을 사용하여 레이저 패싯 코팅을 만듭니다.
Veeco Instruments Spector Ion Beam Sputtering (IBS) 시스템과 Sirius Optical Monitor System을 프라운호퍼 연구소 통신(HHI).
독일 베를린에 본사를 둔이 연구소는이 IBS 기술을 사용하여 "레이저면 코팅 및 기타 마이크로 광학 장치를 개발 및 생산"할 것이라고 말했습니다.
Fraunhofer의 백엔드 및 패키징 그룹 책임자 인 Greta Ropers는“정교한 마이크로 광학 장치의 개발에는 탁월한 스퍼터링 기술이 필요합니다.
"Veeco의 Spector 시스템은 Sirius OMS와 결합되어 자동화되고 확립 된 플랫폼에서 최고의 처리량과 공정 반복성을 갖춘 세계적 수준의 장치를 개발하고 생산할 수 있도록합니다."
광학 박막
Spector 플랫폼은 향상된 수준의 생산성과 처리량으로 고품질 광학 박막을 생성합니다. 증발 코팅과 달리 이온 빔 스퍼터링 박막은 고 에너지로 증착되어 레이저 코팅 응용 분야에서 탁월한 두께 제어와 낮은 결함 밀도를 제공합니다 .Sirius OMS는 광대역 모니터링 제어와 이온 빔 증착 필름의 안정성을 결합하여 Spector 플랫폼 기능을 향상시킵니다. .
Veeco의 AD & E (Advanced Deposition and Etch) 사업부의 부사장 겸 총책임자 인 Adrian Devasahayam 박사는“차세대 레이저면 코팅 및 마이크로 광학 장치를 개발하는 세계적인 Fraunhofer HHI의 선두 주자입니다. "Spector 시스템은 정밀 광학 코팅 박막에 탁월한 품질과 유연성을 제공하며 개발 목표를 가속화 할 것입니다."
이 프로젝트에 대한 자금은 Forschungsfabrik Mikroelektronik마이크로 일렉트로닉스 및 나노 일렉트로닉스를위한 교차 위치 연구 공장으로 Fraunhofer Group 내의 11 개 기관과 고성능 마이크로 일렉트로닉스를위한 혁신 및 Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik과 함께 손상을 입었습니다. 이 시스템은 Veeco의 유럽 채널 파트너와 협력하여 판매되었으며Veonis Technologies.
포스트 시간 : 2019 년 10 월 31 일